Monosilan ist in Verbindung mit Luft explosiv (1 - 98% SiH4). Auch andere Silane können mit Luft explosive Gemische bilden. Die leichteren flüssigen Silane sind leicht entzündlich; diese Gefahr nimmt mit der Länge der Siliziumkette zu.
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Silane-Kompressor
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Mikroelektronik und photovoltaische Zellen
HAUG.Neptune
HAUG.Sirius
Herstellung von Silangas durch aerodynamisches Trennverfahren (Massentrennung durch Zentrifugalkräfte). Hochangereichertes Silicium-28 kann die Leitfähigkeit von photovoltaischen Zellen für die Erzeugung von Solarenergie erhöhen.
Silan ist ein extrem brennbares Gas, daher ist ein ölfreier und gasdichter Kompressor notwendig.
Die gesamte Produktionsanlage mit den HAUG-Silankompressoren wird in einer mit N2 gefüllten Kammer installiert, um ein Austreten von Silan in die Umgebung zu verhindern.
HAUG lieferte einen Kompressorblock in Sonderausführung, bei dem jeder Zylinder separat arbeitet. Das bedeutet, dass jeder Zylinder seinen eigenen Gaseinlass und Gasauslass hat.
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