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Kompressoren für Spezialgase

Kompressoren für Spezialgase

Höchste Reinheit, Zuverlässigkeit und Sicherheit - maßgeschneiderte Lösungen für Industrie, Forschung und Entwicklung.

Die ölfreien, trockenlaufenden und hermetisch gasdichten Kompressoren unserer Marke HAUG sind speziell für die Verdichtung von Spezialgasen entwickelt worden. Mit langjähriger Erfahrung und Kompetenz bieten wir maßgeschneiderte Kompressorlösungen für führende Forschungsinstitute, Universitäten, Hersteller, Chemieunternehmen, Gasverbände und Gasgesellschaften.

Die komplette Liste von Kompressoren für Spezialgase und deren Anwendungen finden Sie hier.

  • Ölfrei und trockenlaufend: Keine Verunreinigung des Gases - garantierte Reinheit und Prozesssicherheit.
  • Höchste Gas- und Prozessreinheit: Perfekt geeignet für hochsensible Anwendungen in Forschung und Industrie.
  • Hermetisch gasdichtes Design: Keine Emissionen oder Leckagen in die Umgebung, maximaler Schutz und Effizienz. Absolut sicher vor Verunreinigungen aus der Umgebung.
  • Erfahrung mit einer Vielzahl von Spezialgasen: Von Fluor über Edelgase bis hin zu komplexen Gasgemischen bieten wir Lösungen für die anspruchsvollsten Gasanwendungen.

Sprechen Sie uns noch heute an, um eine maßgeschneiderte Kompressorlösung zu erhalten, die perfekt auf die Anforderungen Ihres Gasprojekts zugeschnitten ist:

Wir haben Erfahrung in der Verdichtung von zahlreichen Spezialgasen und Gasgemischen. Hier finden Sie einen Auszug der von uns erfolgreich betriebenen Gaskompressoren, der Spezialgase und deren Anwendung:

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Kompressortyp Gas / Chemische Formel Anwendung Mehr Informationen
Ammoniakkompressor Ammoniak / NH3 Düngemittelproduktion, Kältemittel, industrielle Reinigung, chemische Produktion  
Argonkompressor Argon / Ar Schutzgas in der Metallurgie und beim Schweißen, Füllgas in Glühbirnen Hier klicken
Butadienkompressor Butadien / C4H6 Herstellung von synthetischem Kautschuk und Kunststoffen  
i-Butankompressor i-Butan / C4H10 Kältemittel, Bestandteil von Flüssiggas (LPG)  
n-Butankompressor n-Butan / C4H10 Kältemittel, Bestandteil von Flüssiggas (LPG)  
1-Butenkompressor 1-Buten / C4H8 Herstellung von Polyethylen, Zwischenprodukt in der chemischen Industrie  
C4-FN (Novec 4710) / C5-FK (Novec 5110)-Kompressor C4-FN (Novec 4710) / C5-FK (Novec 5110) Isoliergas, Lichtbogenlöschung Hier klicken
Chlorkompressor Chlor / Cl2 Wasserdesinfektion, Herstellung von Kunststoffen und Chemikalien  
Chlordifluormethankompressor Chlordifluormethan / ChClF2 Kältemittel (R-22), Vorprodukt für Fluorpolymere  
Chlormethankompressor Chlormethan / CH3Cl Chemisches Zwischenprodukt, Herstellung von Silika  
Chlortrifluorethenkompressor Chlortrifluorethen / C2ClF3 Herstellung von Fluorpolymeren, chemisches Zwischenprodukt  
Chlortrifluorethylenkompressor Chlortrifluorethylen (CTFE) / C₂F₃C Herstellung von Fluorpolymeren, insbesondere von Teflon (PTFE) und anderen Spezialkunststoffen Hier klicken
Chlortrifluormethankompressor Chlortrifluormethan / CClF3 Kältemittel, Lösungsmittel  
Deuteriumkompressor Deuterium / D2 Kernfusionsforschung, Isotopenforschung  
Dichlordifluormethankompressor Dichlordifluormethan / CCl2F3 ehemals Kühlmittel (R-12), jetzt weitreichend verboten  
Dichlorethankompressor Dichlorethan / C2H4Cl2 Produktion von Vinylchlorid, Lösungsmittel  
Dichlorfluormethankompressor Dichlorfluormethan / CCl2HF Kühlmittel (R-21), chemischer Zwischenstoff  
Dichlormethankompressor Dichlormethan / CH2Cl2 Lösungemittel, Extraktionsmittel in der Chemie  
Dichlortetrafluorethankompressor Dichlortetrafluorethan / C2Cl2F4 Kühlmittel (R-114), jetzt weitgehend ersetzt  
Difluorethankompressor Difluorethan / C2H4F2 Kühlmittel, Treibmittel in Aerosolen  
Difluormethankompressor Difluormethan / CH2F2 Kühlmittel (R-32), Bestandteil von R-410A  
Dimethyletherkompressor Dimethylether / C₂H6O Treibmittel, CFC-Substitut, Treibstoff  
Ethankompressor Ethan / C₂H₆ Rohstoff in der Petrochemie (Ethenproduktion)  
Ethylenkompressor Ethylen / C₂H₄ Herstellung von Kunststoffen (Polyethylen), Pflanzenhormon für die Reifung  
Fluorkompressor Fluor / F₂ Ätzen von Glas, Herstellung von Fluorverbindungen  
Heptafluorpropankompressor Heptafluorpropan / C₃HF₇ Feuerlöschmittel, Kühlmittel  
Hexafluorethankompressor Hexafluorethan / C₂F₆ Kühlmittel (R-116), Verwendung in der Halbleiterindustrie  
Hexafluorpropenkompressor Hexafluorpropen / C₃F₆ Produktion of Fluorpolymeren  
Hexankompressor Hexan / C₆H₁₄ Lösungsmittel, Extraktion von Pflanzenölen  
Kokereigaskompressor Mixture (H₂, CH₄,CO) Brennstoff in Stahlwerken, Chemierohstoff  
Kryptonkompressor Krypton / Kr Beleuchtung (Kryptonlampen), Dämmung in Fenstern  
Methanthiolkompressor Methanthiol / CH₃SH Odoriermittel für Erdgas, chemisches Zwischenprodukt  
Lachgaskompressor Distickstoffmonoxidkompressor / N₂O Anästhetikum, Treibmittel in der Lebensmittelindustrie  
Molybdenfluoridkompressor Molybdenfluorid / MoF₆ Halbleiterindustrie, Herstellung von Molybdänverbindungen  
Neonkompressor Neon / Ne Beleuchtung (Neonröhren), Füllgas in Rohren  
n-Pentankompressor n-Pentan / C₅H₁₂ Lösungsmittel, Treibmittel, Schaumtreibmittel  
Oktafluorpropankompressor Oktafluorpropan / C₃F₈ Kühlmittel (R-218), Löschmittel  
Ozonkompressor Ozon / O₃ Wasserdesinfektion, Luftreinigung, chemische Synthesen Hier klicken
Pentafluorethankompressor Pentafluorethan / C₂HF₅ Kühlmittel (R-125), Bestadnteil von Kühlmittelmischungen  
Pentafluorpropankompressor R-245 fa / C₃HF₅ Kühlmittel, Treibmittel in Aerosolen  
Perfluorbutankompressor Perfluorbutan / C₄F₁₀ Löschmittel, Kühlmittel Hier klicken
Perfluorpropankompressor Perfluorpropan / C₃F₈ Kühlmittel (R218), in Feuerlöschsystemen und beim Plasmaätzen in der Halbleiterherstellung verwendet Hier klicken
Propankompressor Propan / C₃H₈ Brennstoff, Kühlmittel  
Propenkompressor Propen / C₃H₆ Herstellung von Polypropylen, chemisches Zwischenprodukt  
Propylenoxidkompressor Propylenoxid / C₃H₆O Herstellung von Polyurethanen und Glykolethern  
R-404A-Kompressor Mischung Kühlmittelmischung (R-125, R-143a, R-134a) Hier klicken
R-407C-Kompressor Mischung Kühlmittelmischung (R-32, R-125, R-134a)  
R-410A-Kompressor Mischung Kühlmittelmischung (R-32, R-125), in Klimaanlagen verwendet  
R-473A-Kompressor Mischung Kühlmittelmischung in Tiefsttemperaturanwendungen, wie z. B. in medizinischen Gefrierschränken und in der Kryotechnik Hier klicken
Schwefelhexafluoridkompressor Schwefelhexafluorid / SF₆ Trenngas in Hochspannungs-Leistungsschaltern, Schutzgas Hier klicken
Schwefelwasserstoffkompressor Schwefelwasserstoff / H₂S Herstellung von Schwefelverbindungen, die in Raffinerien verwendet werden  
Siliziumtetrafluoridkompressor Siliziumtetrafluorid / SiF₄ Ätzen von Glas, Halbleiterherstellung Hier klicken
Schwefeldioxidkompressor Schwefeldioxid / SO₂ Konservierungsmittel, Bleichmittel, verwendet in der chemischen Industrie  
Stickstoffmonoxidkompressor Stickstoffmonoxid / NO Medizinische Inhalationstherapie, Forschung im Bereich der Atmosphärenchemie  
Tetrafluorethankompressor Tetrafluorethan / C₂H₂F₄ Kühlmittel (R-134a), Löschmittel  
Tetrafluorethylenkompressor Tetrafluorethylen / C₂F₄ Herstellung von Fluorpolymeren (z. B. Teflon)  
Tetrahydrothiophenkompressor Tetrahydrothiophen / C₄H₈S Odoriermittel für Erdgas, chemisches Zwischenprodukt  
Toluolkompressor Toluol / C₆H₅CH₃ Lösungsmittel in chemischen Prozessen, verwendet bei der Herstellung von Farben, Beschichtungen und als Zwischenprodukt bei der Benzolherstellung Hier klicken
Trichlortrifluorethankompressor R113 / C₂Cl₃F₃ Ehemals Kühlmittel, Lösungsmittel  
Trichlorfluormethankompressor Trichlorfluormethan / CCl₃F Ehemals Kühlmittel (R-11), Lösungsmittel  
Trifluorethankompressor Trifluorethan / C₂H₃F₃ Kühlmittel (R-143a)  
Trifluormethankompressor Trifluormethan / CF₃H Kühlmittel (R-23), verwendet in der Halbleiterindustrie  
Wolframhexafluoridkompressor Wolframhexafluorid / WF₆ Halbleiterherstellung, Wolframabscheidung  
Vinylchloridkompressor Vinylchlorid / C₂H₃Cl Herstellung von Polyvinylchlorid (PVC)  
Xenonkompressor Xenon / Xe Beleuchtung, Anästhesie, Forschung in der Raumfahrttechnik Hier klicken

Spezialgase für die Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie stellt besonders hohe Anforderungen an die Reinheit und Zuverlässigkeit der verwendeten Gase. Unsere HAUG-Kompressoren sind ideal für diese anspruchsvollen Anwendungen, bei denen schon kleinste Verunreinigungen die Produktqualität

Zu den in der Halbleiterindustrie verwendeten Gasen gehören unter anderem:

  • Hexafluorethan (C₂F₆): Wird beim Plasmaätzen und bei der Reaktorreinigung in der Halbleiterproduktion verwendet.
  • Octafluorpropan (C₃F₈): Wird in Ätzprozessen und als Reaktorreinigungsmedium verwendet.
  • Schwefelhexafluorid (SF₆): Wird als Ätzgas bei der Strukturierung von Silizium und anderen Materialien verwendet.
  • Stickstofftrifluorid (NF₃): Zur Reinigung von Reaktorkammern in der Halbleiterproduktion.
  • Siliziumtetrafluorid (SiF₄): Für die Herstellung und Modifizierung von Siliziumdioxidschichten (SiO₂).
  • Wolframhexafluorid (WF₆): Wird zur Herstellung von Wolframschichten verwendet, die für die Metallisierung von Halbleiterbauteilen benötigt werden.