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特种气体的压缩机解决方案
极致的纯度、可靠性和安全性——为工业、研究和开发提供定制化解决方案。
HAUG品牌的无油、干式且密封性极佳的压缩机是专为压缩特种气体而开发的。凭借多年的经验和专业知识，我们为领先的研究机构、大学、制造商、化工企业、气体协会和气体公司提供定制化的压缩机解决方案。
立即联系我们，获得完全符合您气体项目需求的定制压缩机解决方案：
我们在压缩各种特种气体和混合气体方面拥有丰富经验。以下是我们成功运行的气体压缩机，特种气体及其应用的部分示例：
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半导体行业的特种气体
半导体行业对所用气体的纯度和可靠性有着极高的要求。我们的HAUG压缩机是这些高要求应用的理想之选，因为在这些领域，即使是最微小的杂质也可能对产品质量产生严重影响。
半导体行业使用的气体包括但不限于：
- 六氟乙烷 (C₂F₆)：用于半导体生产中的等离子体蚀刻和反应器清洗。
- 八氟丙烷 (C₃F₈)：用于蚀刻工艺以及作为反应器清洗介质。
- 六氟化硫 (SF₆)：用于硅及其他材料结构化工艺中的蚀刻气体。
- 三氟化氮 (NF₃)：用于半导体生产中反应器腔体的清洗。
- 四氟化硅 (SiF₄)：用于生成和改性二氧化硅层（SiO₂）。
- 六氟化钨 (WF₆): 用于生产钨膜，这是半导体组件金属化所需的材料。